Precisieverdelingen - Uitgangspunt voor een hoge nauwkeurigheid

Belangrijke onderdelen van de meetsystemen van HEIDENHAIN zijn de maatdragers, meestal in de vorm van een streeprooster met typische structuurbreedtes van 0,25 μm tot 10 μm. Deze precisieverdelingen worden volgens een door HEIDENHAIN ontwikkeld procédé (bijvoorbeeld DIADUR of AURODUR) geproduceerd en zijn bepalend voor de functie en de nauwkeurigheid van de meetsystemen. Verdelingen bestaan uit strepen en openingen, waarvan de gedefi nieerde afstanden slechts minimale afwijkingen vertonen en waarvan de structuur voorzien is van bijzonder scherpe kanten. Zij zijn bestand tegen mechanische en chemische invloeden, zijn ongevoelig voor trillings- en schokbelastingen en zij gedragen zich thermisch op een precies gedefi nieerde wijze.

Faserooster-verdelingen	Met speciale productieprocessen kunnen ook driedimensionale roosterstructuren worden vervaardigd, die speciale optische eigenschappen bezitten. De structuurbreedtes hiervan vallen in het gebied van enkele micrometers tot vanaf éénvierde micrometer.
SUPRADUR	De volgens de SUPRADUR-procedure vervaardigde verdelingen werken optisch als driedimensionale faseroosters. Ze hebben echter een planaire structuur en zijn daardoor bijzonder ongevoelig voor verontreinigingen.
MAGNODUR	Voor de fi jnste gemagnetiseerde verdelingen worden magnetisch actieve, dunne lagen in het micrometergebied gestructureerd.
DIADUR	DIADUR precision graduations are composed of an extremely thin layer of chromium on a substrate usually of glass or glass ceramic. The accuracy of the graduation structure lies within the micron and submicron range.
AURODUR	AURODUR-verdelingen bestaan uit goed refl ecterende gouden strepen en mat geëtste openingen. AURODUR-verdelingen zijn meestal op stalen dragers aangebracht.
METALLUR	METALLUR-Teilungen besitzen durch ihren speziellen optischen Aufbau aus reflektierenden Goldschichten eine nahezu planare Struktur. Sie sind daher besonders unempfindlich gegen Verschmutzungen.