Where accuracy meets throughput

'TELICA' is het nieuwe multi-assenplatform van ETEL, specifiek ontwikkeld voor semiconductor back-end toepassingen zoals Die-Bonding, LED Bonding, Flip-Chip, Fan-Out, Advanced Packaging, etc.

In back-end applicaties is de cost of ownership typisch gedefinieerd als een combinatie van kosten per plaatsing en rendement. Beide zijn direct verbonden aan positioneernauwkeurigheid en snelheid van het motionsysteem. Vaak zijn conventionele architecturen van bewegingssystemen ofwel geoptimaliseerd voor hoge positioneernauwkeurigheid of voor hoge doorvoer. Dankzij de zeer innovatieve motion-systeemarchitectuur biedt TELICA dat tegelijkertijd. Nauwkeurigheid en doorvoer op een ongekend niveau, namelijk 1 µm (3 sigma) positioneernauwkeurigheid @ 10 kUPH.

Dit motion control systeem van ETEL biedt een absolute positioneernauwkeurigheid <1 µm, gecombineerd met extreem hoge versnellingen en precisiebewegingen. Deze eigenschappen zijn van toepassing op de nieuw ontwikkelde stage 'TELICA', die voor het eerst is gepresenteerd op de beurs SEMICON West 2019 in San Francisco, evenals op de in de praktijk bewezen 'VULCANO' en 'CHARON 2' platforms. De uitzonderlijke eigenschappen van deze motion systemen zijn niet in de laatste plaats te danken aan optische encoders van HEIDENHAIN.

Dynamische nauwkeurigheid
De zeer kleine interpolatiefout van HEIDENHAIN-encoders verbetert de prestaties van de lineaire motoren en vermindert op die manier de warmteoverdracht naar de machine, zelfs in zeer dynamische toepassingen. Door de vermindering van thermisch geïnduceerde fouten, vertoont TELICA een zeer hoge nauwkeurigheid. De positienauwkeurigheid wordt verder verbeterd door de ZERODUR lineaire encoders. Lage positieruis en een lage basislijnfout van minder dan ± 0,175 µm over een interval van 5 mm, dragen ook bij aan de uitzonderlijke nauwkeurigheid en hoge dynamiek van deze stages.

Positiestabiliteit bij hoge doorvoer
De stages zijn ontworpen voor extreme positiestabiliteit. HEIDENHAIN en ETEL hebben in nauwe samenwerking een special concept ontwikkeld, zodat de encoders tegen mogelijke warmte zoals van het aandrijfsysteem worden afgeschermd.

Belangrijkste specificaties

  • ±350 nm lokale plaatsingsnauwkeurigheid (beweegt met plaatselijke uitlijning)
  • ±1 µm globale plaatsingsnauwkeurigheid (blinde bewegingen)
  • <10 minuten thermisch transitie (van koude start tot warme werkingstoestand)
  • tot 10 kUPH doorvoer voor een typische flip-chip matrijsverbindingstoepassing
  • tot 180 kUPH verwerkingscapaciteit voor µ-LED-binding
  • tot 4 g acceleratie in X, 6 g in Y en 7.5 g in Z
  • tot 2 m/s snelheid in X en Y en 1 m/s in Z
  • ISO 5 geschikt voor gebruik in een cleanroom

Extra informatie over bovenstaand artikel vindt u hier:

- product pagina TELICA
- product pagina van de systemen 'VULCANO' en 'CHARON’

Etel is een onderdeel van HEIDENHAIN.

Heeft u specifieke vragen over dit product? Wij helpen u graag!
Telefoon: 0318-581800
Mail: infoheidenhainnl