Elektronica-industrie

De permanente miniaturisering van de bouwstenen is de aanjager van snelle vooruitgang in de elektronica. Basis voor de steeds kleinere dies in front-end, voor steeds complexere chips in back-end en voor steeds compactere printplaten in de elektronicaproductie is de continu verbeterde nauwkeurigheid van de toegepaste meet- en motion technologie. ETEL-platforms met HEIDENHAIN-meetsystemen en ETEL-motion control en positieregelaars, bieden een zeer hoge nauwkeurigheid en uitstekende performance. Meetsystemen van NUMERIK JENA en RSF completeren deze high-end-oplossingen.

Onze highlights voor de productie van halfgeleiders en elektronica

Vooruitgang bij de positioneernauwkeurigheid leidt tot steeds krachtigere chips en elektronicamodules – 
waardoor een nog grotere positioneringsnauwkeurigheid mogelijk is.

Oplossingen voor front-end halfgeleiderproductie

Geoptimaliseerd voor die-productie

Open lineaire encoders van HEIDENHAIN zijn geoptimaliseerd voor het gebruik op uiterst nauwkeurige en dynamische machines, zoals ze in het front-end voor de productie van halfgeleiders vereist zijn. Ze garanderen een hoge stabiliteit op de lange termijn, bovendien zijn ze snel en eenvoudig te monteren.

Modulaire hoekmeetsystemen met optische aftasting en zonder eigen lagering van de serie ERP kunt u in deze toepassingen bij grote holle assen en bij hoge toerentallen tot 20.000 rpm gebruiken. Ze hebben een zeer geringe massa en daardoor een zeer gering massatraagheidsmoment. Er is dus geen extra aanloopkoppel nodig – een bijzonder voordeel voor de machines in de halfgeleiderproductie.

ETEL-motion control bieden uitbreidingsmogelijkheden van een stand-alone X-as tot complete oplossingen met zeven assen. Dat omvat een breed scala van toepassingen bij de halfgeleiderfabricage. De verticale integratie van de ETEL-knowhow voor motor, elektronica en besturing en de HEIDENHAIN-expertise op het gebied van positioneernauwkeurigheid bieden duidelijke voordelen, bijvoorbeeld een uitstekende bidirectionele herhalingsnauwkeurigheid van ±250 Nm.

Meet- en motion control techniek voor back-end

Lineaire encoders voor de meest uiteenlopende back-end-toepassingen

Aan machines en installaties voor back-end halfgeleiderproductie worden zeer uiteenlopende eisen gesteld. Voor al deze toepassingen bieden HEIDENHAIN en de merken NUMERIK JENA en RSF op maat gesneden lineaire encoders aan. Van de hoogste nauwkeurigheid tot uiterst kleine afmetingen zijn alle constellaties mogelijk, om tegemoet te komen aan de bijzondere eisen van uw toepassing.

Hoeken in back-end-toepassingen zeer nauwkeurig meten

Om ervoor te zorgen dat roterende assen tijdens het bondingproces, bij de packaging of bij andere back-end-toepassingen tijdens de halfgeleiderproductie altijd de juiste positie hebben, zijn uiterst nauwkeurige meetsystemen vereist. Bij HEIDENHAIN vindt u hiervoor twee oplossingen: modulaire optische hoekmeetsystemen van de series ERP of ERO, of hoekmeetmodules van het type MRP, die als optimaal op elkaar afgestemde combinaties van hoekmeetsystemen en zeer nauwkeurige lagers met gecontroleerde en gespecificeerde eigenschappen het gebruik en de montage vergemakkelijken.

Mechatronische motion control systemen voor high-end-toepassingen

ETEL biedt u een breed scala aan motion control systemen. Van het stand-alone-product tot het in hoge mate geïntegreerde platform vindt u oplossingen die aan de bijzondere eisen van halfgeleidertoepassingen voldoen. Als machinefabrikant kunt u zich op uw kerncompetentie concentreren. Bij ETEL vindt u krachtige mechatronische motion control oplossingen.

Nieuws over de wereldwijde SEMICON-beurzen
vindt u ook op onze microsite.

Over de hoogtepunten

Meetsystemen voor de productie van modules en printplaten

Open lineaire encoders voor uiterst dynamische processen

Voor het plaatsen van componentenop PCB‘s tijdens de elektronica-fabricage staat de dynamiek van de processen op de voorgrond. Open lineaire encoders van de series LIC en LIDA van HEIDENHAIN voldoen aan de gestelde voorwaarden en combineren de vereiste nauwkeurigheid met hoge verplaatsingssnelheden. Meetsystemen van NUMERIK JENA en RSF zijn met name geschikt voor individuele, klantspecifieke oplossingen.

Roterende assen exact positioneren

Modulaire optische hoekmeetsystemen van het type ERO of ERA zijn ook in machines voor de productie van modules en printplaten de eerste keuze bij grote roterende assen. De MRP-hoekmeetmodules zijn bijzonder eenvoudig in gebruik en montage. Ze combineren een hoekmeetsysteem en een uiterst nauwkeurig lager tot een in hoge mate geïntegreerde component met specifieke eigenschappen. Zo bieden hoekmeetmodules een echt alternatief voor luchtgelagerde assen en besparen ze tijdrovende afstelprocessen na de montage. En als alternatief vindt u bij RSF het absolute hoekmeetsysteem MCR 15 met zijn speciale uitvoering voor elektrische aandrijvingen.

 

Dynamisch bewegen met ETEL

XY-tafel, een portaalsysteem of rotary table – voor alle ontwerpvarianten biedt ETEL oplossingen als complete motion control systemen met direct drive technologie aan. Daarmee hebt u als machinefabrikant de mogelijkheid om alle bewegingen met zeer dynamische en uiterst nauwkeurige systemen te realiseren. Van de eenvoudigste vorm met twee lineaire vrijheidsgraden, via de lineaire beweging in de ruimte tot aan de combinatie met roterende assen. De ETEL-oplossingen bieden daarbij altijd een optimale benutting van de ruimte voor zo compact mogelijke machines.

Meetsystemen voor toekomstgerichte LED- en beeldschermtechnologieën

Briljante weergave dankzij nauwkeurige lineaire positionering

Ultravlakke beeldschermen, van compacte touchscreens in smartphones tot UHD-grootbeeldtelevisies, danken hun haarscherpe weergave en heldere, levendige kleuren deels aan de positioneringsnauwkeurigheid van de productieapparatuur voor LED-technologie. Daarvoor zorgen, net als in de andere sectoren van de elektronica-industrie, open lineaire encoders van HEIDENHAIN, NUMERIK JENA en RSF.

Maximale nauwkeurigheid ook op de roterende as

De modulaire optische hoekmeetsystemen van de series ERO, ERP, ECA en ERA voldoen aan alle eisen ten aanzien van nauwkeurigheid, dynamiek en betrouwbaarheid bij roterende bewegingen tijdens de productie van LED's en beeldschermen. Zo kunt u altijd precies het meetsysteem selecteren, waarvan de eigenschappen perfect bij uw toepassing passen.

Permanent een hoge nauwkeurigheid gedurende de gehele levensduur: 
De Signal Processing-ASIC HSP 1.0

Dat zou u ook nog eens kunnen interesseren

Open lineaire encoders en continu stabiele meetwaarden

In dit white paper leest u meer over de manier waarop HEIDENHAIN de hoge nauwkeurigheid van zijn open meetsystemen gedurende de gehele levensduur garandeert.
Naar de downloadpagina

Meetsystemen voor lineaire motoren in de elektronica-industrie

Positiemeetsystemen zijn bepalend voor het prestatievermogen van een lineaire motor. Dit white paper geeft een overzicht van de verbanden.
Naar de downloadpagina

Lineaire encoders voor gebruik in vacuüm

De vacuümtechniek speelt een essentiële rol in de elektronica- en dunnelaagtechnologie. In het white paper leest u hoe lineaire encoders aan deze specifieke eisen voldoen.
Naar de downloadpagina

Interfaces, signalen en interface-elektronica

Interfaces als gedefinieerde aansluitingen tussen meetsystemen en volgelektronica waarborgen een veilige informatie-uitwisseling. De brochure geeft u een overzicht.
Naar de downloadpagina